ALD 2004

Kemell, M. (Poster presentation)

Aktivitet: Typer för deltagande i eller organisering av evenemangArrangemang av och deltagande i konferens/workshop/kurs/seminarium

Beskrivning

Atomic layer deposition in preparation of high aspect ratio microstructures
Period16 aug 200418 aug 2004
Typ av evenemang!!Other
PlatsHelsinki, Finland
OmfattningInternationell