Baltic ALD 2014

  • Emma Salmi (Poster presentation)

Aktivitet: Typer för deltagande i eller organisering av evenemangArrangemang av och deltagande i konferens/workshop/kurs/seminarium

Beskrivning

Residual Stresses in Atomic Layer Deposited Tantalum Oxide Thin Films
Period12 maj 201413 maj 2014
Typ av evenemang!!Other
Konferensnummer12
Sponsor
PlatsHelisinki, FinlandVisa på karta
OmfattningInternationell