High temperature XRD and XRR studies on atomic layer deposited niobium oxide - silicon oxide nanolaminates

Heikkilä, M. (!!Speaker)

Aktivitet: Typer för tal eller presentation!!Oral presentation

Period27 jun 2019
HändelsetitelJoint EuroCVD 22 - Baltic ALD 16 meeting
Typ av evenemangKonferens
PlatsLuxemburg, Luxemburg
OmfattningInternationell