Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements

Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation

Period17 sep. 2018 → 20 sep. 2018
Evenemangstitel2018 E-MRS Fall Meeting and Exhibit
Typ av evenemangKonferens
PlatsVarsova, PolenVisa på karta
OmfattningInternationell