HelsinkiALD

Forskningsresultat

Forskningsresultat per år 1999 2020 2021 2022 2023 2025

• 144 Artikel
• 10 Beställd rapport
• 6 Konferensbidrag
• 5 Översiktsartikel
• 11 Mer
  • 4 Patent
  • 3 Kapitel
  • 1 Antologi eller special utgåva
  • 1 Bok
  • 1 Konferensartikel
  • 1 Digitala eller visuella produkter

Forskningsresultat per år

Forskningsresultat per år

Sökresultat

• 2012

  Precursors for ALD processes, In: Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials

  Putkonen, M., 2012, Precursors for ALD processes.

  Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandling › Kapitel › Vetenskaplig › Peer review

• 2011

  Challenges in ALD.

  Leskelä, M., 2011, Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials. Pinna, N. & Knez, M. (red.). Wiley-VCH, s. 401-422 23 s.

  Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandling › Kapitel › Vetenskaplig

• Precursors for ALD Processes

  Putkonen, M., Pinna, N. & Knez, M., 2011, Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials.

  Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandling › Kapitel › Vetenskaplig › Peer review