Om du gjort några ändringar i Pure kommer de visas här snart.

Personlig profil

Keywords

  • 116 Kemi

Publikationer 2018 2018

Patterned films by atomic layer deposition using Parafilm as a mask

Zhang, C., Kalliomäki, J., Leskelä, M. & Ritala, M., jan 2018, I : Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 36, 1, 5 s., ARTN 01B102.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review