Forskningsresultat per år
Forskningsresultat per år
Personlig profil
Vetenskapsgrenar
- 116 Kemi
Internationellt och inhemskt samarbete
Publikationer och projekt inom de senaste fem åren.
Publikationer
- 10 Artikel
-
Ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy study on the initial atomic layer deposition process of platinum
Kokkonen, E., Nieminen, H.-E., Rehman, F., Miikkulainen, V., Putkonen, M., Ritala, M., Huotari, S., Schnadt, J. & Urpelainen, S., dec. 2024, I: Journal of Vacuum Science Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 42, 6, 8 s., 062406.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes
Nieminen, H.-E., Chundak, M., Heikkila, M. J., Karkkainen, P. R., Vehkamaki, M., Putkonen, M. & Ritala, M., mars 2023, I: Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 41, 2, 11 s., 022401.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
In vacuo studies on reaction mechanisms in ALD processes of ruthenium and platinum films
Nieminen, H., Putkonen, M. & Ritala, M., 25 nov. 2023, I: Applied Surface Science. 648, 10 s., 159015.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Reductive Thermal Atomic Layer Deposition Process for Gold
Vihervaara, A., Hatanpää, T., Nieminen, H., Mizohata, K., Chundak, M. & Ritala, M., maj 2023, I: ACS materials Au. 3, 3, s. 206-214 9 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy setup for synchrotron-based in situ and operando atomic layer deposition research
Kokkonen, E., Kaipio, M., Nieminen, H.-E., Rehman, F., Miikkulainen, V., Putkonen, M., Ritala, M., Huotari, S., Schnadt, J. & Urpelainen, S., 1 jan. 2022, I: Review of Scientific Instruments. 93, 1, 13 s., 013905.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil
Priser
-
ALD 2023 Best Oral Presentation Finalist
Nieminen, H. (!!Recipient), 24 juli 2023
Pris: Pris och hedersbetygelser
Aktiviteter
- 2 !!Oral presentation
-
Reaction mechanism studies on ALD processes of Pt and Ru
Nieminen, H. (!!Speaker)
24 juli 2023Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation
-
In vacuo cluster tool for studying the reaction mechanisms in ALD and ALE processes
Nieminen, H. (!!Speaker)
28 juni 2022Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation