Atosuo, E.,
Ojala, J.,
Heikkila, M. J.,
Mattinen, M.,
Mizohata, K.,
Raisanen, J.,
Leskela, M. &
Ritala, M.,
mars 2021,
I: Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 39,
2,
7 s., 022404.
Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review