Inget foto av Marko Vehkamäki

Marko Vehkamäki

  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Finland

19982020

Forskningsoutput per år

Om du gjort några ändringar i Pure kommer de visas här snart.

Publikationer

2020

Area-Selective Molecular Layer Deposition of Polyimide on Cu through Cu-Catalyzed Formation of a Crystalline Interchain Polyimide

Zhang, C., Vehkamäki, M., Pietikäinen, M., Leskelä, M. & Ritala, M., 23 jun 2020, I : Chemistry of Materials. 32, 12, s. 5073-5083 11 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Atomic Layer Deposition of PbS Thin Films at Low Temperatures: Chemistry of Materials

Popov, G., Bačić, G., Mattinen, M., Manner, T., Lindström, H., Seppänen, H., Suihkonen, S., Vehkamäki, M., Kemell, M., Jalkanen, P., Mizohata, K., Räisänen, J., Leskelä, M., Koivula, H. M., Barry, S. T. & Ritala, M., 16 sep 2020, I : Chemistry of Materials.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2019

Atomic Layer Deposition of Emerging 2D Semiconductors, HfS2 and ZrS2, for Optoelectronics

Mattinen, M., Popov, G., Vehkamäki, M., King, P. J., Mizohata, K., Jalkanen, P., Räisänen, J., Leskelä, M. & Ritala, M., 13 aug 2019, I : Chemistry of Materials. 31, 15, s. 5713-5724 12 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil

Atomic Layer Deposition of PbI₂ Thin Films

Popov, G., Mattinen, M. J., Hatanpää, T., Vehkamäki, M., Kemell, M., Mizohata, K., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 12 feb 2019, I : Chemistry of Materials. 31, 3, s. 1101–1109 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil

Reversely toposelective vapor deposition at normal pressure and temperature by capillary condensation

Lovikka, V. A., Kemell, M., Vehkamäki, M. & Leskelä, M., 1 jul 2019, I : Materials Horizons. 6, 6, s. 1230-1237 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Öppen tillgång
Fil
2018

Atomic Layer Deposition of Rhenium Disulfide

Hämäläinen, J., Mattinen, M., Mizohata, K., Meinander, K., Vehkamäki, M., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 13 jun 2018, I : Advanced Materials. 30, 24, s. 1703622 6 s., 1703622.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone

Kukli, K., Kemell, M., Mizohata, K., Vehkamäki, M., Kalam, K., Castan, H., Duenas, S., Link, J., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., 2018, I : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 7, 2, s. P1-P8 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Metal oxide multilayer hard mask system for 3D nanofabrication

Han, Z., Vehkamäki, M., Salmi, E., Leskelä, M. & Ritala, M., 2 feb 2018, I : Nanotechnology. 29, 5, 8 s., 055301.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Rhenium Metal and Rhenium Nitride Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

Hämäläinen, J., Mizohata, K., Meinander, K., Mattinen, M., Vehkamäki, M., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 26 okt 2018, I : Angewandte Chemie (International Edition). 57, 44, s. 14538-14542 5 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2017

(Invited) Photo-Assisted ALD: Process Development and Application Perspectives

Miikkulainen, V., Väyrynen, K., Kilpi, V., Han, Z., Vehkamäki, M., Mizohata, K., Räisänen, J. & Ritala, M., 2017, I : ECS transactions. 80, 3, s. 49-60 12 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil
Öppen tillgång
Fil

Atomic layer deposition and properties of mixed Ta2O5 and ZrO2 films

Kukli, K., Kemell, M., Vehkamäki, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Kalam, K., Ritala, M., Leskelä, M., Kundrata, I. & Frohlich, K., feb 2017, I : AIP Advances. 7, 2, 15 s., 025001.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil

Isosorbide synthesis from cellulose with an efficient and recyclable ruthenium catalyst

Keskiväli, J., Rautiainen, S., Heikkilä, M., Myllymäki, T. T. T., Karjalainen, J-P., Lagerblom, K., Kemell, M., Vehkamäki, M., Meinander, K. & Repo, T., 7 okt 2017, I : Green Chemistry. 19, 19, s. 4563-4570 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Surface Modification of Acetaminophen Particles by Atomic Layer Deposition

Kääriäinen, T. O., Kemell, M. L., Vehkamäki, M. J., Kääriäinen, M-L., Correia, A., Almeida Santos, H., Marques dos Santos Bimbo, L. M., Hirvonen, J. T., Hoppu, P., George, S. M., Cameron, D. C., Ritala, M. K. & Leskelä, M. A., 15 jun 2017, I : International Journal of Pharmaceutics. 525, 1, s. 160–174 15 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil
2016

Atomic Layer Deposition of Iridium Thin Films Using Sequential Oxygen and Hydrogen Pulses

Mattinen, M., Hämäläinen, J., Vehkamäki, M., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Jalkanen, P., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 21 jul 2016, I : Journal of Physical Chemistry C. 120, 28, s. 15235-15243 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Bismuth iron oxide thin films using atomic layer deposition of alternating bismuth oxide and iron oxide layers

Puttaswamy, M., Vehkamäki, M., Kukli, K., Dimri, M. C., Kemell, M., Hatanpää, T., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Stern, R., Ritala, M. & Leskelä, M., 29 jul 2016, I : Thin Solid Films. 611, s. 78-87 10 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Electric and Magnetic Properties of ALD-Grown BiFeO3 Films

Marchand, B., Jalkanen, P., Tuboltsev, V., Vehkamäki, M., Puttaswamy, M., Kemell, M., Mizohata, K., Hatanpää, T., Savin, A., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 7 apr 2016, I : Journal of Physical Chemistry C. 120, 13, s. 7313-7322 10 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Microwave-assisted base-free oxidation of glucose on gold nanoparticle catalysts

Rautiainen, S., Lehtinen, P., Vehkamäki, M., Niemelä, K., Kemell, M., Heikkilä, M. & Repo, T., 10 jan 2016, I : Catalysis Communications. 74, s. 115-118 4 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Oxidation of Vanillin with Supported Gold Nanoparticles

Rautiainen, S., Chen, J., Vehkamäki, M. & Repo, T., aug 2016, I : Topics in Catalysis. 59, 13-14, s. 1138-1142 5 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Soot-doped natural snow and its albedo - results from field experiments

Svensson, J., Virkkula, A., Meinander, O., Kivekäs, N., Hannula, H-R., Järvinen, O., Peltoniemi, J. I., Gritsevich, M., Heikkila, A., Kontu, A., Neitola, K., Brus, D., Dagsson-Waldhauserova, P., Anttila, K., Vehkamäki, M., Hienola, A., De Leeuw, G. & Lihavainen, H., 2016, I : Boreal Environment Research. 21, 5-6, s. 481-503 23 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil
2015

(Et3Si)(2)Se as a precursor for atomic layer deposition: growth analysis of thermoelectric Bi2Se3

Sarnet, T., Hatanpaa, T., Vehkamaki, M., Flyktman, T., Ahopelto, J., Mizohata, K., Ritala, M. & Leskela, M., 2015, I : Journal of Materials Chemistry. C. 3, 18, s. 4820-4828 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Atomic Layer Deposition and Characterization of Bi2Te3 Thin Films

Sarnet, T., Hatanpaa, T., Puukilainen, E., Mattinen, M., Vehkamaki, M., Mizohata, K., Ritala, M. & Leskela, M., 19 mar 2015, I : Journal of Physical Chemistry A. 119, 11, s. 2298-2306 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetrachloride and ozone

Kukli, K., Kemell, M., Köykkä, J., Mizohata, K., Vehkamaki, M., Ritala, M. & Leskela, M., 31 aug 2015, I : Thin Solid Films. 589, s. 597-604 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Impedance spectroscopy study of the unipolar and bipolar resistive switching states of atomic layer deposited polycrystalline ZrO2 thin films

Kärkkänen, I., Shkabko, A., Heikkilä, M., Vehkamäki, M., Niinistö, J., Aslam, N., Meuffels, P., Ritala, M., Leskelä, M., Waser, R. & Hoffmann-Eifert, S., apr 2015, I : Physica Status Solidi. A: Applications and Materials Science. 212, 4, s. 751-766 16 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Resistless fabrication of embedded nanochannels by FIB patterning, wet etching and atomic layer deposition

Han, Z., Vehkamäki, M. J., Leskelä, M. & Ritala, M. K., 2015, Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nanotechnology. IEEE, s. 1008-1011 4 s.

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil

Selective etching of focused gallium ion beam implanted regions from silicon as a nanofabrication method

Han, Z., Vehkamaki, M., Mattinen, M., Salmi, E., Mizohata, K., Leskela, M. & Ritala, M., 3 jul 2015, I : Nanotechnology. 26, 26, 10 s., 265304.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Selective oxidation of uronic acids into aldaric acids over gold catalyst

Rautiainen, S., Lehtinen, P., Chen, J., Vehkamaki, M., Niemela, K., Leskela, M. & Repo, T., 2015, I : RSC Advances. 5, 25, s. 19502-19507 6 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Studies on Atomic Layer Deposition of IRMOF-8 Thin Films

Salmi, L., Heikkilä, M., Vehkamäki, M., Puukilainen, E., Sajavaara, T. P. & Ritala, M., jan 2015, I : Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films. 33, 1, s. 01A121-1 - 01A121-8 8 s., ARTN 01A121.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2014

Combining focused ion beam and atomic layer deposition in nanostructure fabrication

Han, Z., Vehkamäki, M., Leskelä, M. & Ritala, M., 21 mar 2014, I : Nanotechnology. 25, 11, s. 115302 5 s., 115302.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Evaluating optimal combination of clodronate and bioactive glass for dental application

Rosenqvist, K., Airaksinen, S., Vehkamäki, M. & Juppo, A. M., 1 jul 2014, I : International Journal of Pharmaceutics. 468, 1-2, s. 112-120 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Magnetic Properties of Polycrystalline Bismuth Ferrite Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

Jalkanen, P., Tuboltsev, V., Marchand, B., Savin, A., Puttaswamy, M., Vehkamäki, M., Mizohata, K., Kemell, M. L., Hatanpää, T. T., Rogozin, V., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 18 dec 2014, I : Journal of Physical Chemistry Letters. 5, 24, s. 4319-4323 5 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Metal oxide films

Rahtu, A. H., Matero, R., Leskelä, M., Ritala, M., Hatanpää, T. T., Hänninen, T. P. & Vehkamäki, M., 1 apr 2014, IPC-nr. C30B21/02, Patentnr. US8685165 B2, 1 apr 2014

Forskningsoutput: Patent

Modeling of cesium sorption on biotite using cation exchange selectivity coefficients

Kyllönen, J., Hakanen, M., Lindberg, A., Harjula, R., Vehkamaki, M. & Lehto, J., okt 2014, I : Radiochimica Acta. 102, 10, s. 919-929 11 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Sealing of Hard CrN and DLC Coatings with Atomic Layer Deposition

Härkönen, E., Kolev, I., Diaz, B., Swiatowska, J., Maurice, V., Seyeux, A., Marcus, P., Fenker, M., Toth, L., Radnoczi, G., Vehkamäki, M. & Ritala, M., 12 feb 2014, I : ACS Applied Materials & Interfaces. 6, 3, s. 1893-1901 9 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2013

Structural and Magnetic Studies on Iron Oxide and Iron-Magnesium Oxide Thin Films Deposited Using Ferrocene and (Dimethylaminomethyl)ferrocene Precursors

Kukli, K., Dimri, M. C., Tamm, A., Kemell, M., Käämbre, T., Vehkamäki, M., Puttaswamy, M., Stern, R., Kuusik, I., Kikas, A., Tallarida, M., Schmeisser, D., Ritala, M. & Leskelä, M., 2013, I : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2, 3, s. N45-N54 10 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2012

Conformality of remote plasma-enhanced atomic layer deposition processes: An experimental study

Kariniemi, M., Niinistö, J., Vehkamäki, M., Kemell, M., Ritala, M., Leskelä, M. & Putkonen, M., 2012, I : Journal of Vacuum Science & Technology. A: International Journal Devoted to Vacuum, Surfaces, and Films. 30, 1, s. 01A115 5 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Passivation of copper surfaces for selective-area ALD using a thiol self-assembled monolayer

Färm, E., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2012, I : Semiconductor Science and Technology. 27, 7, s. - 5 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2011

Corrosion Protection of Steel with Oxide Nanolaminates Grown by Atomic Layer Deposition

Härkönen, E., Diaz, B., Swiatowska, J., Maurice, V., Seyeux, A., Vehkamäki, M., Sajavaara, T., Fenker, M., Marcus, P. & Ritala, M., 2011, I : Journal of the Electrochemical Society. 158, 11, s. C369-C378 10 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2010

Study of bismuth alkoxides as possible precursors for ALD

Hatanpää, T., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2010, I : Dalton Transactions. 39, 13, s. 3219-3226 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2009

Atomic Layer Deposition of Ta2O5/Polyimide Nanolaminates

Salmi, L. D., Puukilainen, E., Vehkamäki, M., Heikkilä, M. & Ritala, M., 2009, I : Chemical Vapor Deposition. 15, 7-9, s. 221-226 6 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2008

Dielectric properties of atomic layer deposited thin-film barium strontium titanate

Tyunina, M., Plekh, M., Levoska, J., Vehkamäki, M., Hatanpää, T., Ritala, M. & Leskelä, M., 2008, I : Integrated Ferroelectrics. 102, s. 29-36 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

2007

Atomic layer deposition of BaTiO3 thin films - effect of barium hydroxide formation

Vehkamäki, M., Hatanpää, T., Ritala, M., Leskelä, M., Väyrynen, S. & Rauhala, E., 2007, I : Chemical Vapor Deposition. 13, 5, s. 239-246 8 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Effects of metallisation on T1Br single crystals for detector applications

Kozlov, V., Leskelä, M., Vehkamäki, M. & Sipilä, H., 2007, I : Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors, and Associated Equipment. 573, 1-2, s. 212-215 4 s.

Forskningsoutput: TidskriftsbidragKonferensartikelVetenskapligPeer review

Process for Producing Oxide Films

Hatanpää, T. T., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 28 jun 2007, IPC-nr. C23C 16/06, Patentnr. US 7713584 , 11 maj 2010

Forskningsoutput: Patent