Inget foto av Marko Vehkamäki

Marko Vehkamäki

  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Finland

19982020

Forskningsoutput per år

Om du gjort några ändringar i Pure kommer de visas här snart.

Publikationer

Filter
Konferensbidrag
2000

Atomic layer deposition of high-k oxides

Ritala, M., Kukli, K., Vehkamäki, M., Hänninen, T., Hatanpää, T. T., Leskelä, M. & Räisänen, P. I., 2000, Proceedings - Electrochemical Society: CVD XV. The Electrochemical Society , Vol. 2000-13. s. 597-604 8 s. (Electrochemical Society Proceedings).

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

2003

Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition

Hatanpää, T., Hänninen, T., Ihanus, J., Kansikas, J., Mutikainen, I., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2003, Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14: proceedings of the international symposium. Allendorf, M. D., Maury, F. & Teyssandier, F. (red.). Pennington, NJ : The Electrochemical Society , Vol. 2003-08. s. 516-522 7 s. (Electrochemical Society Proceedings ).

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

2015

Resistless fabrication of embedded nanochannels by FIB patterning, wet etching and atomic layer deposition

Han, Z., Vehkamäki, M. J., Leskelä, M. & Ritala, M. K., 2015, Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nanotechnology. IEEE, s. 1008-1011 4 s.

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil