Inget foto av Marko Vehkamäki

Marko Vehkamäki

  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Finland

19982020

Forskningsoutput per år

Om du gjort några ändringar i Pure kommer de visas här snart.

Publikationer

Filter
Konferensbidrag
Konferensbidrag

Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition

Hatanpää, T., Hänninen, T., Ihanus, J., Kansikas, J., Mutikainen, I., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 2003, Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14: proceedings of the international symposium. Allendorf, M. D., Maury, F. & Teyssandier, F. (red.). Pennington, NJ : The Electrochemical Society , Vol. 2003-08. s. 516-522 7 s. (Electrochemical Society Proceedings ).

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Atomic layer deposition of high-k oxides

Ritala, M., Kukli, K., Vehkamäki, M., Hänninen, T., Hatanpää, T. T., Leskelä, M. & Räisänen, P. I., 2000, Proceedings - Electrochemical Society: CVD XV. The Electrochemical Society , Vol. 2000-13. s. 597-604 8 s. (Electrochemical Society Proceedings).

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Resistless fabrication of embedded nanochannels by FIB patterning, wet etching and atomic layer deposition

Han, Z., Vehkamäki, M. J., Leskelä, M. & Ritala, M. K., 2015, Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nanotechnology. IEEE, s. 1008-1011 4 s.

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Öppen tillgång
Fil