Inget foto av Marko Vehkamäki

Marko Vehkamäki

  • PL 55 (A. I. Virtasen aukio 1)

    00014

    Finland

19982020

Forskningsoutput per år

Om du gjort några ändringar i Pure kommer de visas här snart.

Publikationer

Filter
Patent
2014

Metal oxide films

Rahtu, A. H., Matero, R., Leskelä, M., Ritala, M., Hatanpää, T. T., Hänninen, T. P. & Vehkamäki, M., 1 apr 2014, IPC-nr. C30B21/02, Patentnr. US8685165 B2, 1 apr 2014

Forskningsoutput: Patent

2007

Process for Producing Oxide Films

Hatanpää, T. T., Vehkamäki, M., Ritala, M. & Leskelä, M., 28 jun 2007, IPC-nr. C23C 16/06, Patentnr. US 7713584 , 11 maj 2010

Forskningsoutput: Patent

2005

Process for Producing Bismuth-Containing Oxide Films

Leskelä, M., Vehkamäki, M., Hatanpää, T. T. & Ritala, M., 28 apr 2005, IPC-nr. C23C16/00 C23C16/40 C23C16/06 , Patentnr. 7618681 , 17 nov 2009

Forskningsoutput: Patent