Forskningsresultat per år
Forskningsresultat per år
Personlig profil
Vetenskapsgrenar
- 116 Kemi
Internationellt och inhemskt samarbete
Publikationer och projekt inom de senaste fem åren.
-
Ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy study on the initial atomic layer deposition process of platinum
Kokkonen, E., Nieminen, H.-E., Rehman, F., Miikkulainen, V., Putkonen, M., Ritala, M., Huotari, S., Schnadt, J. & Urpelainen, S., dec. 2024, I: Journal of Vacuum Science Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 42, 6, 8 s., 062406.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Atomic Layer Deposition of Molybdenum Carbide Thin Films
Kärkkäinen, P., Popov, G., Hatanpää, T., Kemppinen, A., Kohopää, K., Bagheri, M., Komsa, H.-P., Heikkilä, M., Mizohata, K., Chundak, M., Deminskyi, P., Vihervaara, A., Ribeiro, M., Hätinen, J., Govenius, J., Putkonen, M. & Ritala, M., 1 juli 2024, I: Advanced Materials Interfaces . 12 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Elastic recoil and scattering yields measured in low energy heavy ion ERD
Kivekäs, M., Mizohata, K., Julin, J., Kainlauri, M., Prunnila, M., Keränen, L., Putkonen, M., Korkiamäki, T. & Laitinen, M., dec. 2024, I: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 557, 8 s., 165542.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Atomic Layer Deposition of Boron-Doped Al2O3 Dielectric Films
Li, X., Vehkamäki, M., Chundak, M., Mizohata, K., Vihervaara, A., Leskelä, M., Putkonen, M. & Ritala, M., juni 2023, I: Advanced Materials Interfaces . 10, 18, 8 s., 2300173.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide on Mesoporous Zirconia Using Zinc(II) Acetylacetonate and Air
Yim, J., Haimi, E., Mäntymäki, M., Kärkäs, V., Bes, R., Gutierrez, A. A., Meinander, K., Brüner, P., Grehl, T., Gell, L., Viinikainen, T., Honkala, K., Huotari, S., Karinen, R., Putkonen, M. & Puurunen, R. L., 10 okt. 2023, I: Chemistry of Materials. 35, 19, s. 7915–7930 16 s., 3c00668.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil
Projekter
- 1 Aktiv
-
JAES-1/2024-12/2027-Putkonen
Putkonen, M. (Projektledare), Anto, A. (deltagare), Chundak, M. (deltagare) & Ganzhinov, A. (deltagare)
01/01/2024 → 31/12/2027
Projekt: Stiftelser och fonder
Utrustning
-
HelsinkiALD
Putkonen, M. (Chef), Ritala, M. (Chef), Mäntymäki, M. (Operatör), Kemell, M. (Operatör), Vehkamäki, M. (Operatör) & Heikkilä, M. (Operatör)
Avdelningen för kemiUtrustning/facilitet: Forskningslaboratorium