Forskningsresultat per år
Forskningsresultat per år
Personlig profil
Vetenskapsgrenar
- 116 Kemi
Internationellt och inhemskt samarbete
Publikationer och projekt inom de senaste fem åren.
-
In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes
Nieminen, H-E., Chundak, M., Heikkila, M. J., Karkkainen, P. R., Vehkamaki, M., Putkonen, M. & Ritala, M., mars 2023, I: Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 41, 2, 11 s., 022401.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
-
Molecular Layer Deposition of Pyrrone Thin Films by Oxidative Polymerization
Ghafourisaleh, S., Vehkamäki, M., Vihervaara, A., Zhang, C., Heikkilä, M., Leskelä, M., Putkonen, M. & Ritala, M., 6 mars 2023, I: Advanced Materials Interfaces . 10, 7, 10 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Bulk synthesis of stoichiometric/meteoritic troilite (FeS) by high-temperature pyrite decomposition and pyrrhotite melting
Moreau, J-G., Joeleht, A., Aruvali, J., Heikkila, M. J., Stojic, A. N., Thomberg, T., Plado, J. & Hietala, S., mars 2022, I: Meteoritics and Planetary Science. 57, 3, s. 588-602 15 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Electroblown titanium dioxide and titanium dioxide/silicon dioxide submicron fibers with and without titania nanorod layer for strontium(II) uptake
Paajanen, J., Pettilä, L. O., Lönnrot, S., Heikkilä, M., Hatanpää, T., Ritala, M. & Koivula, R., 10 dec. 2022, I: Chemical Engineering Journal Advances. 13, s. 1-12 12 s., 100434.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
Laboratory-scale x-ray absorption spectroscopy of 3d transition metals in inorganic thin films
Kallio, A-J., Weiss, A., Bes, R., Heikkilä, M., Kemell, M., Ritala, M. & Huotari, S., 13 dec. 2022, I: Dalton Transactions. 51, 48, s. 18593-18602 10 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil
Aktiviteter
-
High temperature XRD and XRR studies on atomic layer deposited niobium oxide - silicon oxide nanolaminates
Mikko Heikkilä (!!Speaker)
27 juni 2019Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation
-
Materials Characterization by the Combined Analysis
Mikko Heikkilä (Närvarande)
26 nov. 2018 → 30 nov. 2018Aktivitet: Typer för deltagande i eller organisering av evenemang › Arrangemang av och deltagande i konferens/workshop/kurs/seminarium
-
Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements
Mikko Heikkilä (!!Speaker)
17 sep. 2018 → 20 sep. 2018Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation
-
2017 E-MRS Fall Meeting and Exhibit
Mikko Heikkilä (Närvarande)
18 sep. 2017 → 21 sep. 2017Aktivitet: Typer för deltagande i eller organisering av evenemang › Arrangemang av och deltagande i konferens/workshop/kurs/seminarium
-
Synchrotron Radiation to Study Atomic Layer Deposition
Mikko Heikkilä (Talare: Presentation)
12 juni 2016 → 15 juni 2016Aktivitet: Typer för deltagande i eller organisering av evenemang › Arrangemang av och deltagande i konferens/workshop/kurs/seminarium