Aktiviteter per år
Aktiviteter
- 2 resultat
Sökresultat
-
High temperature XRD and XRR studies on atomic layer deposited niobium oxide - silicon oxide nanolaminates
Heikkilä, M. (!!Speaker)
27 juni 2019Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation
-
Properties of ALD grown Al2O3-TiO2 laminates investigated by high temperature XRD/XRR and in situ wafer curvature measurements
Heikkilä, M. (!!Speaker)
17 sep. 2018 → 20 sep. 2018Aktivitet: Typer för tal eller presentation › !!Oral presentation