Forskningsresultat per år
Forskningsresultat per år
Forskningsresultat
- 2 Artikel
- 2 resultat
Sökresultat
-
2024
Atomic Layer Deposition of Molybdenum Carbide Thin Films
Kärkkäinen, P., Popov, G., Hatanpää, T., Kemppinen, A., Kohopää, K., Bagheri, M., Komsa, H.-P., Heikkilä, M., Mizohata, K., Chundak, M., Deminskyi, P., Vihervaara, A., Ribeiro, M., Hätinen, J., Govenius, J., Putkonen, M. & Ritala, M., 1 juli 2024, I: Advanced Materials Interfaces . 12 s.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil -
2023
In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes
Nieminen, H.-E., Chundak, M., Heikkila, M. J., Karkkainen, P. R., Vehkamaki, M., Putkonen, M. & Ritala, M., mars 2023, I: Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society. 41, 2, 11 s., 022401.Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review
Öppen tillgångFil