ALD for amino-functionalization of silicon surfaces using aminoalkoxysilanes and water

Jari Malm, Matti Putkonen, Maarit Karppinen

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2009
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här