ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)

A.C. Jones; R. O’Kane; F. Song; P. Heys; P.A. Williams; Lauri Niinistö; Jaakko Niinistö; M. Putkonen; R. Hammond; A. Bacon

ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)

A.C. Jones, R. O’Kane, F. Song, P. Heys, P.A. Williams, Lauri Niinistö, Jaakko Niinistö, M. Putkonen, R. Hammond, A. Bacon

Forskningsoutput: Bok/rapport › Beställd rapport

Originalspråk	engelska

Status	Publicerad - 2006
Externt publicerad	Ja
MoE-publikationstyp	D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Chef), Ritala, M. (Chef), Mäntymäki, M. (Operatör), Kemell, M. (Operatör), Vehkamäki, M. (Operatör) & Heikkilä, M. (Operatör)
Avdelningen för kemi
Utrustning/facilitet: Forskningslaboratorium

Citera det här

@book{373efc22aaa641819efa38941b16f5bf,

title = "ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)",

author = "A.C. Jones and R. O{\textquoteright}Kane and F. Song and P. Heys and P.A. Williams and Lauri Niinist{\"o} and Jaakko Niinist{\"o} and M. Putkonen and R. Hammond and A. Bacon",

year = "2006",

language = "English",

}

TY - BOOK

T1 - ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)

AU - Jones, A.C.

AU - O’Kane, R.

AU - Song, F.

AU - Heys, P.

AU - Williams, P.A.

AU - Niinistö, Lauri

AU - Niinistö, Jaakko

AU - Putkonen, M.

AU - Hammond, R.

AU - Bacon, A.

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Commissioned report

BT - ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)

ER -

ALD of HfO2 using a new organometallic Hf precursor, The AVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2006)

Utrustning

HelsinkiALD

Citera det här