ALD of WO3 thin films on Si(100) surfaces from W(CO)6 and O3 precursors

Jari Malm, Matti Putkonen, Maarit Karppinen

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2009
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här