Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition

Timo Hatanpää, Timo Hänninen, Jarkko Ihanus, Jarno Kansikas, Ilpo Mutikainen, Marko Vehkamäki, Mikko Ritala, Markku Leskelä

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikationChemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 : proceedings of the international symposium
    RedaktörerM. D. Allendorf, F. Maury, F. Teyssandier
    Antal sidor7
    Volym2003-08
    UtgivningsortPennington, NJ
    FörlagThe Electrochemical Society
    Utgivningsdatum2003
    Sidor516-522
    ISBN (tryckt)1-56677-378-4
    StatusPublicerad - 2003
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
    EvenemangChemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 International Symbosium - Pariisi, Frankrike
    Varaktighet: 27 apr 20032 maj 2003
    Konferensnummer: 16

    Publikationsserier

    NamnElectrochemical Society Proceedings
    FörlagElectrochemical Society

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här

    Hatanpää, T., Hänninen, T., Ihanus, J., Kansikas, J., Mutikainen, I., Vehkamäki, M., Ritala, M., & Leskelä, M. (2003). Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition. I M. D. Allendorf, F. Maury, & F. Teyssandier (Red.), Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14: proceedings of the international symposium (Vol. 2003-08, s. 516-522 ). (Electrochemical Society Proceedings ). The Electrochemical Society .