Alkaline earth cyclopentadienyl compounds as precursors for atomic layer deposition

Timo Hatanpää, Timo Hänninen, Jarkko Ihanus, Jarno Kansikas, Ilpo Mutikainen, Marko Vehkamäki, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på gästpublikationChemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 : proceedings of the international symposium
RedaktörerM. D. Allendorf, F. Maury, F. Teyssandier
Antal sidor7
Volym2003-08
UtgivningsortPennington, NJ
FörlagThe Electrochemical Society
Utgivningsdatum2003
Sidor516-522
ISBN (tryckt)1-56677-378-4
StatusPublicerad - 2003
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
EvenemangChemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 International Symbosium - Pariisi, Frankrike
Varaktighet: 27 apr 20032 maj 2003
Konferensnummer: 16

Publikationsserier

NamnElectrochemical Society Proceedings
FörlagElectrochemical Society

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här