Area-Selective Etching of Poly(methyl methacrylate) Films by Catalytic Decomposition

Valtteri Lasonen, Anton Vihervaara, Georgi Popov, Eva Tois, Lars Mester, Mohammad Karimi, Yoana Ilarionova, Reza Jafari Jam, Jonas Sundqvist, Mikko Ritala

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review

1 resultat
- Titel(fallande)

HelsinkiALD
Matti Putkonen (Chef), Mikko Ritala (Chef), Miia Mäntymäki (Operatör), Marianna Kemell (Operatör), Marko Vehkamäki (Operatör) & Mikko Heikkilä (Operatör)
Avdelningen för kemi
Utrustning/facilitet: Forskningslaboratorium