Atomic layer deposition of cobalt(II) oxide thin films from Co(BTSA)(2)(THF) and H2O

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer010908
TidskriftJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volym37
Utgåva1
Antal sidor12
ISSN0734-2101
DOI
StatusPublicerad - jan 2019
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi
  • 221 Nanoteknologi
  • 114 Fysik

Citera det här