Atomic Layer Deposition of Crystalline MoS2 Thin Films: New Molybdenum Precursor for Low-Temperature Film Growth

Miika Mattinen, Timo Hatanpaa, Tiina Sarnet, Kenichiro Mizohata, Kristoffer Meinander, Peter J. King, Leonid Khriachtchev, Jyrki Räisänen, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer1700123
TidskriftAdvanced Materials Interfaces
Volym4
Utgåva18
Antal sidor11
ISSN2196-7350
DOI
StatusPublicerad - 22 sep 2017
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi
  • 114 Fysik

Citera det här