Atomic Layer Deposition of Emerging 2D Semiconductors, HfS2 and ZrS2, for Optoelectronics

Miika Mattinen, Georgi Popov, Marko Vehkamäki, Peter J. King, Kenichiro Mizohata, Pasi Jalkanen, Jyrki Räisänen, Markku Leskelä, Mikko Ritala

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review

1 resultat
- Titel(fallande)

HelsinkiALD
Matti Putkonen (Chef), Mikko Ritala (Chef), Miia Mäntymäki (Operatör), Marianna Kemell (Operatör), Marko Vehkamäki (Operatör) & Mikko Heikkilä (Operatör)
Avdelningen för kemi
Utrustning/facilitet: Forskningslaboratorium