Atomic Layer Deposition of Erbium Oxide Thin Films

Jani Päiväsaari, Matti Putkonen, Timo Sajavaara, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2003
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här