Atomic Layer Deposition of Germanium Antimony Telluride Thin Films

Mikko Ritala, Viljami Pore, Timo Hatanpää, Mikko Heikkilä, Markku Leskelä, Alejandro Schrott, Simone Raoux, Stephen M. Rossnagel

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på gästpublikationProceedings : European/Phase Change and Ovonics Symposium, 6th-8th Septemberg, 2009 in Aachen, Germany / hosted by Dr. Martin Salinga and Prof.Dr. Matthias Wuttig
Antal sidor6
Utgivningsdatum2009
Sidor151-156
StatusPublicerad - 2009
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
EvenemangEuropean\Phase Change and Ovonics Symposium - Aachen, Tyskland
Varaktighet: 6 sep 20098 sep 2009
Konferensnummer: E\PCOS 2009

Bibliografisk information

Rheinisch-Westfälische technische hochschule Aachen,;
Phase Change and Ovonics Symposium, 6th-8th Septemberg, 2009 in Aachen, Germany / hosted by Dr. Martin Salinga and Prof.Dr. Matthias Wuttig;

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här