Atomic layer deposition of high-k oxides

Mikko Ritala, Kaupo Kukli, Marko Vehkamäki, Timo Hänninen, Timo Tapio Hatanpää, Markku Leskelä, Petri I. Räisänen

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på gästpublikationProceedings - Electrochemical Society : CVD XV
Antal sidor8
Volym2000-13
FörlagThe Electrochemical Society
Utgivningsdatum2000
Sidor597-604
StatusPublicerad - 2000
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationsserier

NamnElectrochemical Society Proceedings

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här