Atomic Layer Deposition of Inorganic-Organic Hybrid Material Thin Films

Leo Salmi

Forskningsoutput: Avhandling › Doktorsavhandling › Samling av artiklar

Originalspråk	engelska
Tilldelande institution	Helsingfors universitet
Handledare	Ritala, Mikko, Handledare
Utgivningsort	Helsinki
Förlag	Helsingin yliopisto
Tryckta ISBN	978-951-51-6439-1
Status	Publicerad - 2020
MoE-publikationstyp	G5 Doktorsavhandling (artikel)

Vetenskapsgrenar

@phdthesis{c8854b7d2f4e4381b27e6b715a81bfe0,

title = "Atomic Layer Deposition of Inorganic-Organic Hybrid Material Thin Films",

keywords = "116 Chemical sciences",

author = "Leo Salmi",

year = "2020",

language = "English",

isbn = "978-951-51-6439-1",

publisher = "Helsingin yliopisto",

address = "Finland",

school = "University of Helsinki",

}