Atomic Layer Deposition of Intermetallic Co3Sn2 and Ni3Sn2 Thin Films

Katja Väyrynen, Timo Hatanpää, Miika Mattinen, Kenichiro Mizohata, Kristoffer Meinander, Jyrki Räisänen, Joosep Link, Raivo Stern, Mikko Ritala, Markku Leskela

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer1801291
TidskriftAdvanced Materials Interfaces
Volym6
Utgåva3
Antal sidor7
ISSN2196-7350
DOI
StatusPublicerad - 8 feb 2019
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 221 Nanoteknologi
  • 116 Kemi
  • 114 Fysik

Citera det här