Atomic Layer Deposition of Molybdenum Nitride Films

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på värdpublikationAdvanced Metallization Conference 2004 (AMC 2004)
RedaktörerDarrell Erb
Antal sidor6
FörlagMaterials Research Society
Utgivningsdatum2005
Sidor763-768
ISBN (tryckt)1558998144
StatusPublicerad - 2005
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
EvenemangAdvanced Metallization Conference - San Diego, Förenta Staterna (USA)
Varaktighet: 21 okt. 200421 okt. 2004

Publikationsserier

NamnMRS Conference Proceedings Series
Volym20

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här