Atomic Layer Deposition of Molybdenum Nitride Films

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikationAdvanced Metallization Conference 2004 (AMC 2004)
    RedaktörerDarrell Erb
    Antal sidor6
    FörlagMaterials Research Society
    Utgivningsdatum2005
    Sidor763-768
    ISBN (tryckt)1558998144
    StatusPublicerad - 2005
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
    EvenemangAdvanced Metallization Conference - San Diego, Förenta Staterna (USA)
    Varaktighet: 21 okt 200421 okt 2004

    Publikationsserier

    NamnMRS Conference Proceedings Series
    Volym20

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här