Atomic Layer Deposition of Noble Metals

Titta Aaltonen, Mikko Ritala, Markku Leskelä

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikationProceedings of Advanced Metallization Conference 2004
    RedaktörerD. Erb, P. Ramm, K. Masu, A. Osaki
    Antal sidor5
    UtgivningsortWarrensdale, PA
    FörlagMaterials Research Society
    Utgivningsdatum2005
    Sidor663-667
    ISBN (tryckt)1558998144
    StatusPublicerad - 2005
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
    Evenemang21st Advanced Metallization Conference - San Diego, Förenta Staterna (USA)
    Varaktighet: 19 okt 200421 okt 2004
    Konferensnummer: AMC 2004

    Publikationsserier

    NamnMRS Conference Proceedings Series
    Volym20

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här