Atomic Layer Deposition of Rare Earth Oxide Thin Films Exploiting Different Precursor Chemistries

Lauri Niinistö, Matti Putkonen, Jani Päiväsaari, Jaakko Niinistö, Anne Kosola, Minna Nieminen, Charles L. Dezellah, Charles H. Winter

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2005
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här