Atomic layer deposition of rare earth oxides: erbium oxide films from b-diketonate and ozone precursors

Jani Päiväsaari, Jaakko Niinistö, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2004
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här