Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Applying a Mixed Amino/Imino Tantalum Precursor

Arne Baunemann, Roland Fischer, Jaakko Niinistö, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2004
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här