Atomic layer deposition of TbF3 thin films

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer022404
TidskriftJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volym39
Nummer2
Antal sidor7
ISSN0734-2101
DOI
StatusPublicerad - mars 2021
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 114 Fysik
  • 116 Kemi

Citera det här