Atomic-layer deposition of ZrO2 thin films using new alkoxide precursors

Anthony C Jones, Paul A Williams, John L Roberts, Timothy J Leedham, Hywel O Davies, Raija Matero, Mikko Ritala, Markku Leskelä

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikationMaterials Research Society symposia proceedings
    UtgivningsortNew York, NY
    FörlagNorth-Holland
    Utgivningsdatum2002
    Sidor145-150
    StatusPublicerad - 2002
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation

    Publikationsserier

    NamnMaterials Research Society Proceedings
    Volym716

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här