Comparison of HfO2 Thin Films Grown by ALD Using Cp2Hf(CH3)2 and Water or Ozone as Precursors

Jaakko Niinistö, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2004
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här