Crystalline tungsten sulfide thin films by atomic layer deposition and mild annealing

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer020921
TidskriftJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volym37
Utgåva2
Antal sidor9
ISSN0734-2101
DOI
StatusPublicerad - mar 2019
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 114 Fysik
  • 221 Nanoteknologi

Citera det här