Cyclopentadienyl Precursors for the Atomic Layer Deposition of Erbium Oxide Thin Films

Timothee Blanquart, Mikko Kaipio, Jaakko Niinistö, Marco Gavagnin, Valentino Longo, Laurie Blanquart, Clement Lansalot, W. Noh, Heinz D. Wanzenböck, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
TidskriftChemical Vapor Deposition
Volym20
Utgåva7-9
Sidor (från-till)217-223
Antal sidor7
ISSN0948-1907
DOI
StatusPublicerad - sep. 2014
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här