Deposition of bismuth silicate thin films for buffer layers by atomic layer deposition

Jenni Harjuoja, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2004
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här