Device and method for measuring an optical thickness of a layer

Ivan Vladislavov Kassamakov, Risto Matti Kalevi Montonen, Edward Olof Haeggström, Antti Kontiola, Ari Henrik Salmi

Forskningsoutput: Patent

Originalspråkengelska
Utgivningsår2018
StatusPublicerad - 2018
MoE-publikationstypEj behörig

Vetenskapsgrenar

  • 114 Fysik

Citera det här