Electrical characterization of atomic-layer-deposited hafnium silicate for alternative gate dielectric application

S. Dueñas, H. Castán, H. García, J. Barbolla, K. Kukli, M. Ritala, M. Leskelä

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikation 2005 Spanish Conference on Electron Devices : Proceedings
    Antal sidor4
    FörlagInstitute of Electrical and Electronics Engineers
    Utgivningsdatum2005
    Sidor45-48
    ISBN (tryckt)0-7803-8810-0
    DOI
    StatusPublicerad - 2005
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
    Evenemang2005 Spanish Conference on Electron Devices - Valladolid, Spanien
    Varaktighet: 2 feb 20052 apr 2005

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här