Impact of rapid thermal annealing of Ti/TiN bilayers on subsequent chemical vapor deposition of tungsten

A Mouroux, R Palmans, J Keinonen, SL Zhang, K Maex, S Petersson

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på gästpublikationUnknown host publication
RedaktörerKN Tu, JW Mayer, JM Poate, LJ Chen
Antal sidor6
Utgivningsdatum1996
Sidor365-370
StatusPublicerad - 1996
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationsserier

NamnMATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS
FörlagMATERIALS RESEARCH SOC
Volym427
ISSN (tryckt)0886-7860

Citera det här