In Situ Reaction Mechanism Studies on Lithium Hexadimethyldisilazide and Ozone Atomic Layer Deposition Process for Lithium Silicate

Yoann Tomczak, Kjell Knapas, Markku Sundberg, Markku Leskelä, Mikko Ritala

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
TidskriftJournal of Physical Chemistry C
Volym117
Utgåva27
Sidor (från-till)14241-14246
Antal sidor6
ISSN1932-7447
DOI
StatusPublicerad - 11 jul 2013
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här