In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes

Heta-Elisa Nieminen, Mykhailo Chundak, Mikko J. Heikkila, Paloma Ruiz Karkkainen, Marko Vehkamaki, Matti Putkonen, Mikko Ritala

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review

1 resultat
- Titel(fallande)

HelsinkiALD
Putkonen, M. (Chef), Ritala, M. (Chef), Mäntymäki, M. (Operatör), Kemell, M. (Operatör), Vehkamäki, M. (Operatör) & Heikkilä, M. (Operatör)
Avdelningen för kemi
Utrustning/facilitet: Forskningslaboratorium