Industrial applications of atomic layer deposition

Mikko Ritala, Jaakko Niinistö

    Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    TidskriftECS transactions
    Volym25
    Utgåva8
    Sidor (från-till)641-652
    Antal sidor12
    ISSN1938-5862
    StatusPublicerad - 2009
    MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

    Citera det här