Low temperature ALE deposition of Y_(2)O_(3) thin films from beta-diketonate precursors

M. Putkonen, T. Sajavaara, J. Niinistö, L. Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2000
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här