Magnesium aluminate thin films by atomic layer deposition from organometallic precursors and water

Matti Putkonen, Minna Nieminen, Lauri Niinistö

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2002
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här