New approaches to the atomic layer deposition of tantalum nitride and titanium nitride thin films

Marika Juppo, Petra Alén, Mikko Ritala, Markku Leskelä

    Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKonferensbidragVetenskapligPeer review

    Originalspråkengelska
    Titel på gästpublikationConference Proceedings ULSI XVII
    Utgivningsdatum2002
    Sidor633-639
    StatusPublicerad - 2002
    MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
    EvenemangAdvanced Metallization Conference 2001 (AMC 2001) - Montreal, Unknown
    Varaktighet: 1 jan 1800 → …

    Vetenskapsgrenar

    • 116 Kemi

    Citera det här