Precursors for ALD Processes

Matti Putkonen, N. Pinna, M. Knez

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKapitelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på värdpublikationAtomic Layer Deposition of Nanostructured Materials
Utgivningsdatum2011
StatusPublicerad - 2011
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypA3 Del av bok eller annan forskningsbok

Citera det här